= 标准配置或可选
波长范围(nm)
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光谱分辨率
(nm)
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焦距
(mm)
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型号
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扫描
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阵列探测器
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成像
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真空
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超高真空
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光学设计
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< 1 ~ 310
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0.018
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1,000
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248/310G
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光栅入射
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< 1 ~ 90
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0.015
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1,500
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252/315
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光栅入射
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< 1 ~ 254
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0.008
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2,200
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247
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光栅入射
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< 1 ~ 240
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0.006
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3,000
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249
|
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光栅入射
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<1 ~ 70
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0.002
|
10,600
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262
|
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光栅入射
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1 ~ 15
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0.007
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70,000
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264
|
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光栅入射
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10 ~ 170
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0.05
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292
|
251
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平场环形
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1 ~ 20
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0.02
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5,649
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251MX
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平场环形
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50 ~ 300
|
0.1
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320
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343
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环形
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注:该分辨率是用1200G/mm的光栅测量的。
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